日本の女性研究者

ナノ・マイクロ科学

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齋藤 美紀子

 
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研究者氏名齋藤 美紀子
 
サイトウ ミキコ
eメールmikikowaseda.jp
所属早稲田大学
部署研究院(研究機関)/附属機関・学校 ナノ・ライフ創新研究機構
職名上級研究員(研究院教授)
学位博士(工学)(早稲田大学)
科研費研究者番号80386739

研究キーワード

 
ナノデバイス造形

研究分野

 
  • ナノ・マイクロ科学 / ナノマイクロシステム / 

受賞

 
2006年2月
(社)表面技術協会 平成18年度技術賞受賞
 

論文

 
The Effect of Cu Seed Layers on the Properties of the Electroplated Sn-Cu Films, J. Electrochemical Soc.
M. Saito, H. Sasaki, K. Katou, T. Toba, T. Homma
J. Electrochemical Soc.   156 E86   2009年
Preparation of Electrodeposited Pt Nano Patterned Electrode using UV-Nano Imprinting Lithography
M. Saito, J. Mizuno, H. Nishikubo, H. Fujiwara, and T. Homma
ECS Trans.   16(25) 131-136   2009年
Sn系合金めっき膜のウイスカ発生に与える結晶粒径及び結晶構造の影響
佐々木弘幸 加藤邦男 鳥羽環 齋藤美紀子 本間敬之
第114回表面技術講演大会      2006年10月
Al合金膜のジンケ−ト処理プロセスにおける表面電位と膜成長との関係
齋藤美紀子 前川武之 本間敬之
第114回表面技術講演大会   13E-10    2006年10月
Effect of Seed layers on theInternal Stress of Electroplated Sn-Cu Films
齋藤美紀子 佐々木弘幸 本間敬之
J. Electrochemical Soc   J1(431)    2006年5月

所属学協会

 
表面技術学会 エレクトロニクス実装学会 ECS

競争的資金等の研究課題

 
ナノインプリントとナノメッキを融合した微小デバイス一体型積層基板に関する研究
科学研究費助成事業(早稲田大学): 科学研究費助成事業(基盤研究(C))
3次元ナノポーラス構造を利用した低温焼結型微細接合技術の確立
科学研究費助成事業(大阪大学): 科学研究費助成事業(基盤研究(B))
プラズモンアンテナ型センサを用いた超高分解能固液界面その場解析手法の確立
科学研究費助成事業(早稲田大学): 科学研究費助成事業(挑戦的萌芽研究)